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主動(dòng)隔振使產(chǎn)品具有更低的共振頻率應(yīng)用于掃描探針顯微鏡，共聚焦激光顯微鏡，干涉儀系統(tǒng)，三維形狀測(cè)量機(jī)，激光位移測(cè)量系統(tǒng)，其他精密測(cè)量和精密加工機(jī)。主動(dòng)隔振系列產(chǎn)品的除振系統(tǒng)是在精巧的形狀中加入垂直與水平用的氣壓驅(qū)動(dòng)器而構(gòu)成的組裝型除振裝置。（主動(dòng)隔振、主動(dòng)減振、主動(dòng)隔振器、主動(dòng)隔振平臺(tái)、主動(dòng)隔振系統(tǒng)、主動(dòng)防震臺(tái)、主動(dòng)減震模塊、BILZ、FABREEKA） |
